NMW.NRW - Im nordrhein-westfälischen Alsdorf stellt XTREME technologies GmbH zukünftig als einziges Unternehmen in Europa ganz besondere Lichtquellen her: sogenannte EUV Lichtquellen. Die Abkürzung steht für extrem ultraviolettes Licht, das eine Wellenlänge von 13,5 Nanometern besitzt. Es ermöglicht die Herstellung von integrierten Schaltkreisen, in denen die funktionalen Strukturen der Bauelemente in einer Größenordnung von 20 Nanometern liegen.

Dieser Wellenlängenbereich liegt außerhalb des sichtbaren Spektrums von Licht. Das verdeutlicht ein Größenvergleich: ein menschliches Haar hat einen Durchmesser von rund 80.000 Nanometern.

„Das Beispiel von XTREME technologies zeigt, wie wichtig eine enge Vernetzung von Wirtschaft und Wissenschaft ist und wie Synergiepotenziale marktrelevant genutzt werden können“, so Harald Cremer, Landesclustermanager NanoMikro+Werkstoffe.NRW. Seit Mitte Dezember 2010 werden in dem Alsdorfer Werk bei Reinraumbedingungen, die für das spezielle Fertigungsverfahren nötig sind, auf einer Gesamtfläche von rund 3000 Quadratmetern hochpräzise EUV-Lichtquellen für die Verwendung mit Lithographiemaschinen hergestellt. Die Lithographiemaschinen sind Belichtungsmaschinen, die in der Halbleitertechnologie zur Strukturierung von Mikrochips eingesetzt werden. Lithographie wird als Druckverfahren in der Mikroelektronik eingesetzt.

Die Technik, die zur Herstellung der Lichtquellen nötig ist, wurde vom Fraunhofer Institut für Lasertechnik in Aachen (ILT) entwickelt und ermöglicht eine noch kompaktere, dichtere Anordnung der Elemente auf den elektronischen Mikrochips. Somit können bis zu 100 mal mehr Schaltungen auf Mikrochips integriert werden.

 

Mikrosystemtechnik in Nordrhein-Westfalen bundesweit an der Spitze

„Dass sich XTREME technologies als Tochterfirma der japanischen Ushio Inc. für diesen Standort entschieden hat, stärkt nicht nur den regionalen Schwerpunkt Aachen, sondern den gesamten Standort NRW in seiner Spitzenposition im Bereich der Zukunftstechnologien“, so Cremer. In Alsdorf entstehen durch den Einsatz der EUV-Technologie neue, weltmarktrelevante Anwendungsmöglichkeiten, zum Beispiel in Computern oder Handys.

Die Entwicklung der EUV-Quelle ermöglicht noch kleinere und gleichzeitig kompakter strukturierte Mikrochips. „Mikrosysteme sparen aufgrund ihrer geringen Größe Platz, Gewicht und damit letztlich wertvolle Ressourcen. Zudem liegt die Miniaturisierung im Trend. Die Industrie nutzt dies vor allem auf Märkten wie den „Consumer Electronics“, so Cremer.

Xtreme Technologies ist Zulieferer von ASML, dem Weltmarktführer im Bereich der Halbleiter-Lithographie im niederländischen Veldhoven bei Eindhoven.

 

Landescluster NanoMikro+Werkstoffe.NRW

Der Landescluster NanoMikro+Werkstoffe.NRW (NMW) repräsentiert und betreut die nordrhein-westfälische Unternehmens- und Forschungslandschaft in den Bereichen Nanotechnologie, Mikrosystemtechnik sowie Innovative Werkstoffe. Ziel des Clusters NMW ist es, das Land Nordrhein-Westfalen national und international zum wettbewerbsfähigsten und dynamischsten wissensgestützten Wirtschaftsraum im Bereich der Nano-, Mikro- und Werkstofftechnologie zu machen. Dazu gehört die Schaffung eines innovationsfördernden und beschleunigenden Umfelds gleichermaßen wie eine strategische Profilschärfung.